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風淋室在MEMS試驗平臺上的應用.

最近，deiiang在朋友的指導下參觀了MEMS試驗平臺.

據相關負責人介紹，近千平方米的風淋室是微機電制造的主戰(zhàn)場，根據工藝流程分為光刻區(qū)、蝕刻區(qū)、薄膜區(qū)、擴散區(qū)、注入區(qū)和封裝試驗區(qū).

筆者在160套以上的一流制造機之間來回奔波，高大上的氣息撲面而來.

而且，在進入這個工廠之前，必須通過風淋室進行風淋除塵后才能進入.

MEMS中試平臺整體的潔凈度等級分為class10、100、1000、10000、10000，潔凈度最嚴格的是光刻區(qū)，根據標準，即使是看不見肉眼的灰塵，一立方米的空氣中最多只存在幾粒.

，，在MEMS中，試驗平臺的專業(yè)性也反映在對環(huán)境的嚴格要求上.

溫度應始終保持在23度，上下不應超過1度，濕度應為45%，上下不應超過5%.

進入該平臺的心臟——潔凈室前，所有人都必須須一套防塵服，手套、口罩當然也需要裝備.

不要以為這樣就可以簡單地進入.

身份登記和隨身物品清洗后，為了確保掃除塵土，必須面對手臂風淋室中的8個風淋噴嘴進行10秒的吹風清洗.

，保持潔凈，除了實時監(jiān)控和定期潔凈，還有一個隱藏在地板下面的秘密.

其實我們現(xiàn)在看到的機臺只有冰山一角，其附屬設備中也有埋入在地板下的，例如冷卻機、氣箱、泡沫管等.

工作人員表示，將機臺部分身體埋起來，可以有效減少灰塵的堆積.

仔細觀察，地板上分布著很多小孔.

這些小孔是為了使灰塵隨著空氣層從上到下流向地下排出的獨特設計.

這也是潔凈室中最常見的送風方式，隨時隨著各種潔凈度要求的提高，對MEMS試驗平臺的潔凈要求也比較高，這要求組合使用的風淋室必須滿足相關要求.